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CR系列泛半導(dǎo)體設(shè)備用機(jī)械手是韓國Cyborg Lab公司設(shè)計(jì)生產(chǎn)的產(chǎn)品，主要用于潔凈室內(nèi)大氣環(huán)境下半導(dǎo)體硅片或LCD玻璃基板的水平搬運(yùn)。韓國Cyborg Lab公司擁有15年以上的半導(dǎo)體用機(jī)械手產(chǎn)品設(shè)計(jì)與生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)，產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定，性能可靠。CR系列硅片搬運(yùn)機(jī)械手的主要特點(diǎn)如下：
• 靈活可配置的模塊化設(shè)計(jì)
• 重復(fù)定位精度優(yōu)于0.05mm
• 機(jī)身設(shè)計(jì)緊湊，占地面積小，滿足凈化室設(shè)備的使用要求
• 潔凈度要求可達(dá)Class One
• 可根據(jù)客戶要求進(jìn)行定制設(shè)計(jì)
CR系列產(chǎn)品主要用于半導(dǎo)體硅片搬運(yùn)、液晶面板搬運(yùn)、LED硅片搬運(yùn)、MEMS硅片搬運(yùn)等領(lǐng)域，目前沈陽芯源、北京七星、上海新陽等客戶已經(jīng)選用。
