Setra 223 型超高純壓力變送器專為要求嚴(yán)苛的特殊氣體監(jiān)控應(yīng)用而設(shè)計(jì)，可滿足這類應(yīng)用在不損害結(jié)構(gòu)完整性、純度和性能方面的要求。
223 型壓力變送器帶有易于吹掃的小型流線式傳感器腔室。該傳感器擁有優(yōu)異的機(jī)械穩(wěn)定性和熱穩(wěn)定性，尤其不會受到氣流導(dǎo)致的溫度瞬變的影響。感應(yīng)元件與壓力接口相互隔離，幾乎完全消除了扭矩效應(yīng)。
在制造和裝配完成后，Setra 超高純壓力變送器還要接受去離子水沖洗、高純熱氮?dú)獯祾摺⒑娓伞㈦p層包裝、氮?dú)獬渥⒑兔芊獾忍幚恚?后才發(fā)貨。

特性
·接液部件采用316 L VIM/VAR 不銹鋼制造，符合Semi F19/F20 標(biāo)準(zhǔn)
·出色的穩(wěn)定性，避免停機(jī)
·抗電磁干擾/ 射頻干擾，可防止誤停機(jī)
·堅(jiān)固耐用，無故障安裝
·額定破裂壓高
·易于吹掃
·符合CE 和RoHS 標(biāo)準(zhǔn)要求
·獲得不易燃認(rèn)證，適用于潛在危險(xiǎn)區(qū)域

應(yīng)用
·高純度氣體輸送系統(tǒng)
·半導(dǎo)體過程工具
·制藥和生物技術(shù)過程
·氣柜

產(chǎn)品規(guī)格